目前，國際多晶硅生產的主流工藝是改良西門子工藝，占總產量85%以上，2010年用該技術生產的多晶硅占全球總產量16.7萬噸的86.6%。

該技術成熟于上世紀70年代，在沉寂近20年后，伴隨光伏產業的發展，世界各國均對該技術進行二次創新，如中硅高科突破了大型低溫氫化技術、大型節能還原爐技術、高效加壓精餾提純技術、高效加壓三氯氫硅合成技術、尾氣干法回收技術、四氯化硅生產氣相白碳黑技術和熱能綜合利用技術。隨規模化生產，該技術仍有提升空間。

近年來，改良西門子法技術隨其產量的擴張，其競爭能力得以強化，主流工藝地位進一步穩固，未來20年甚至更多年仍將是主流技術。改良西門子法因為產品純度高、生產成本低，可以滿足大規模、安全、環保生產要求，成為市場首選的主流工藝。從成本角度比較，瓦克和REC的成本已經基本接近，顯示出該技術具備旺盛的生命力。下面介紹一下幾種重要的多晶硅的生產方法。

1改良西門子法——閉環式三氯氫硅氫還原法

改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫（或外購氯化氫），氯化氫和產業硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅，然后對三氯氫硅進行分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進行CVD反應生產高純多晶硅。

國內外現有的多晶硅廠盡大部分采用此法生產電子級與太陽能級多晶硅。

2硅烷法——硅烷熱分解法

硅烷（SiH4）是以四氯化硅氫化法、硅合金分解法、氫化物還原法、硅的直接氫化法等方法制取。然后將制得的硅烷氣提純后在熱分解爐生產純度較高的棒狀多晶硅。以前只有日本小松把握此技術，由于發生過嚴重的爆炸事故后，沒有繼續擴大生產。但美國Asimi和SGS公司仍采用硅烷氣熱分解生產純度較高的電子級多晶硅產品。