1引言

隨著現代化社會的發展，大功率開關電源的應用越來越廣泛。在單晶硅行業里，單臺大功率開關電源作為一種新的單晶硅直流加熱電源得到了成功應用，它與相控整流電源相比。在效率、體積、重量、輸出紋波等方面均表現出明顯優勢。但單臺大功率開關電源在設計和制造中存在較大困難，且成本不合算，可靠性和穩定性難以保障，不利于長遠發展。

針對單臺大功率開關電源的不足，采用移相全橋ZVS控制技術和主從控制方式，設計并研制了一臺輸出電壓從O一60V、電流從0~3.3kA持續可調，額定功率為180kW的大功率并聯軟開關電源。電源采用N+1并聯備份。可獲得冗余功率。使其在部分失效時仍可以供應100%負載功率，并可在不間斷系統輸電情況下，對失效的模塊進行熱更換。具有可靠性高，效率高。設計靈活，單個模塊電流應力小。維護和實現冗余方便等優點。

2系統總體結構

圖1示出大功率并聯軟開關電源的系統結構框圖。該系統重要由三相不控整流、直流濾波電感Ld、功率單元模塊、輸出濾波電容C0、主控制電路及單元控制電路組成。Ld重要用于抑制濾波設備電容器上電瞬間的沖擊電流。防止開關管通斷時引起直流側電流大幅度波動。控制策略采用主從控制方式，以電流作為內環、功率為外環的雙閉環pI調節控制。

圖1系統結構框圖